Influence of TiO2 incorporation in HfO2 and Al2O3 based capacitor dielectrics
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| Descripción | artículo científico publicado en 2007 |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli Markku Leskela Mikko Ritala Jonas Sundqvist |
| Fecha de publicación | junio 2007 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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