Conformity and structure of titanium oxide films grown by atomic layer deposition on silicon substrates

Imagen
Descripción	artículo científico publicado en 2008
Autoría	autor: Kaupo Kukli  Indrek Jõgi  Jonas Sundqvist
Fecha de publicación	junio 2008
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata