Detailed leakage current analysis of metal–insulator–metal capacitors with ZrO 2 , ZrO 2 /SiO 2 /ZrO 2 , and ZrO 2 /Al 2 O 3 /ZrO 2 as dielectric and TiN electrodes

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Descripción	artículo científico publicado en 2013
Autoría	autor: Jonas Sundqvist
Fecha de publicación	enero 2013
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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