Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit

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Descripción	artículo científico publicado en 2022
Autoría	autor: Yu-Hsiang Hsu  Lourdes Pelaz  Wei-Yen Woon  Iván Santos
Fecha de publicación	1 de agosto de 2022
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Acceder a la obra	http://dx.doi.org/10.1063/5.0099083
Estatus de derecho de autor	Desconocido
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