Atomic Layer Deposition of LaF3 Thin Films using La(thd)3 and TiF4 as Precursors
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2008 |
| Autoría |
autor: Esa Puukilainen Kai Arstila Markku Leskela Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | abril 2008 |
| Idioma | |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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