HfO[sub 2] Films Grown by ALD Using Cyclopentadienyl-Type Precursors and H[sub 2]O or O[sub 3] as Oxygen Source
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2006 |
| Autoría |
autor: Kaupo Kukli Kai Arstila Markku Leskela Timo Sajavaara Matti Putkonen Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | 2006 |
| Idioma | |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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