Conversion Efficiency of Alkoxide Precursor to Oxide Films Grown by an Ultrasonic-Assisted, Pulsed Liquid Injection, Metalorganic Chemical Vapor Deposition (Pulsed-CVD) Process

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Descripción	artículo científico publicado en 2004
Autoría	autor: Rishi Raj  Susan Krumdieck
Fecha de publicación	21 de diciembre de 2004
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